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    FAM Leuchtturm Vortrag von Dr. Franz Lärmer, Robert Bosch GmbH

    12.02.2009 14:06
    Thema: "Microstructuring Silicon Technologies and Product Applications"

    Termin: Donnerstag, 12.02.2009
    Uhrzeit: 16:15 Uhr
    Ort:  HS 101-00-036

    Abstract:
    Bis Mitte der 90-er Jahre war die Herstellung mikrotechnischer Sensoren dominiert durch nasschemische Aetzverfahren. Diese Verfahren zogen eine Reihe von Einschraenkungen beim Layout der Sensoren nach sich. Zu Beginn der 90-er Jahre startete ein Team der Firma Robert Bosch GmbH mit der Entwicklung spezieller Plasmaaetzverfahren, die die Welt der Mikrosystemtechnik nachhaltig veraendern sollten. Dieser Aetzprozess ist inzwischen als der "Bosch-Prozess" bekannt. Heute gibt es weltweit kaum Mikrosystemtechnik-Produkte, bei deren Fertigung nicht auf diesen Aetzprozess zurückgegriffen wird, der inzwischen durch 40 Patentfamilien mit insgesamt mehr als 350 Patenten geschuetzt ist. Im Jahre 2007 wurden die Bosch-Forscher Dr. Franz Laermer und Frau Andrea Urban für ihre Schluesselinnovation aus dem Jahr 1992 mit dem "European Inventor of the Year 2007 Award" ausgezeichnet.

    Das Forum Angewandte Mikrosystemtechnik ist stolz darauf, dass es gelungen ist, mit Herrn Dr. Laermer einen echten Pionier der Mikrosystemtechnik fuer den diesjaehrigen Leuchtturmvortrag zu gewinnen.
    Herr Dr. Laermer wird in seinem Vortrag über die Entwicklung des Bosch-Prozesses und weiterer Mikrostrukturierungstechniken sowie ueber dessen vielfaeltige Anwendungen berichten.



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